SCMFM微气体质量流量计MS传感器型工作原理：

uf感热式芯片技术是采用大规模集成电阻的工作， 保证传感器的高度*，解决了：“现在传统的热式质量流量计无法保证其传感器的电阻值的*性，导致传感器在各个法线方向热传导速度的差异，所以传统的热式质量流量计在传感器校准和使用过程中产品稳定性存在问题，实际应用中的热式质量流量计价格昂贵，大规模应用比较难”的问题。而uf感热式芯片的功耗大大小于普通的热式质量流量计，同时可靠性稳定,安全性更好。

在芯片上，一个微热源及分别处于微热源上下游的温度传感器集成在采用MEMS的*工艺制作的镂空桥面上。采用这这样的桥式方式制作有利于热传导，使动态响应时间大大提高。当传感器工作时，微热源与环境温度之间保持一定的温差（通常是70℃），在芯片周围形成固定的温度场分布。如果气体是单向流动，则在气道中温度场可用下述公式来计算：

[微小气体质量流量计]

式中：气体流动方向为ｘ，速度为ｖ，ａ为扩散率。
如上图（式）所示，当气体流过芯片时，将会带走热量，通过质量流量qm和电压V的对应关系来计算流体的质量流量。

应用：
1、冶金行业，焦化厂焦炉煤气的测量；钢铁厂加气测量；炼铁厂高炉煤气的测量；热处理淬火炉等的氢、氧、氮等气体的控制；轧钢厂加热炉燃气（高炉煤气、焦化煤气、天然气等）的测量控制。   
2、食品及医药行业，通风系统；啤酒厂中的二氧化碳处理；热氧化过程中气体流量测量；锅炉进气﹑废气﹑过程控制；加工操作中新鲜空气的加入；瓶子消毒器中的热空气的流量。   
3、公用工程--电﹑气﹑水处理的监控，沼气、煤气、天然气、液化气、通用系统、管道的气体、锅炉预热空气。   
4、化学行业，化肥厂氨气测量；烟气循环监测；采样系统中气体流量计量；电池工厂各种气体流量测量；引风机的气体流量计量。   
5、电力行业，氢气测量；燃气炉中气体测量；燃料系统中气体分配过程中的气体测量；电厂高炉的一次风、二次风的测量；锅炉及辅助系统中各种气体的测量。   
6、纸浆与造纸行业，烟道流量监控；锅炉回收二次/三次空气；锅炉的燃气和空气送风测量；废水处理系统中气体的测量。   
7、石油与天然气工业，能量交换；燃气计量；天然气测量；填井气回收；泄漏气测试；火炬气的监控；
SCMFM微气体质量流量计MS传感器型概述：

采用关键矽微机械加工技术的MS流量传感器具有测量微小、小流量的优势的MEMS（ Microelectromechanical systems）气体质量流量计和流量控制器，主要应用于轻工、化工、环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。
该产品能替代浮子流量计、孔板流量计等流量计。其特点是可靠性高、重复性好，压损小，无可动部件，量程比宽，响应时间较快，测量精度高，无需要温度压力补偿。

SCMFM微气体质量流量计MS传感器型技术参数：

2.1  测量介质：各种气体（乙炔气和混合气体除外）
2.2  流量范围：DN3   30-300ml/min
               DN6   60-600ml/min
               DN8   80-800ml/min
               DN10  100-1000ml/min             
注：
   a)以上流量的测量介质为空气而言；
   b)以上流量的标准状态20℃，101.325kPa。
   c) 每个口径量程范围均可扩大
   d)特殊需要可单独标定
2.3   流量测量准确度：±1.5%FS；±2.5%FS
2.4   工作温度范围：0-55℃；
2.5   工作压力范围：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa
2.6   供电电源：24VDC±10%；
2.7   输出信号：4-20mA，RS485通讯；
2.8   环境温度：0-55℃；
2.9   显示位数：瞬时流量为三位，累积流量10位。

SCMFM微气体质量流量计MS传感器型机械尺寸

SCMFM微气体质量流量计MS传感器型的输出

PIN1：报警输出2
PIN2：报警输出1
PIN4：RS485B
PIN5：RS485A
PIN11：电源负端（0V）
PIN12：电断正端（24V）
PIN14：LOOP-  
PIN15：LOOP+
PIN3、6~10、13：信号地（报警信号参考地）

8.2 报警连接

8.3 RS485连接：

8.4 4-20mA输出连接：